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BEST OF SEM

1 :JOHNDOW:2001/05/17(木) 11:42
 半導体分析用にSEMが欲しいのですが、
多くのメーカーからたくさんの機種がでています。
性能、使いやすさ、信頼性、価格などをそれぞれの
観点で結構ですからおすすめのSEMを教えてください

2 :名無しさん@1周年:2001/05/17(木) 11:46
OEM多いから。実際は数社しか作ってないよ。

3 :名も無きマテリアルさん:2001/05/20(日) 00:45
日立とJEOLしか知らないんだけど、ほかにどんな所が作ってるの?

4 :名無しさん@1周年:2001/05/20(日) 01:25
simadzu:止めたほうがいい。安さ命。
HORIBA:超マイナーだと思うけど、、、パンフレット見てると欲しくなる
    操作性とかにすごく気を使ってる印象を受けた。
    後発メーカだからそういう細かい所に気を配ってる感じ。

ちなみにウチのはTOPCONです。
シブイ、、つーか誰だよこんな機種選定した野郎は!!

逝くならJEOLだな。アフターもよさそうだし、セミナーとかも定期的に開催してる。


5 :BAMGIS:2001/05/22(火) 18:36
フィリップスは?

6 :名も無きマテリアルさん:2001/05/23(水) 00:21
形状分析用ってことで良いのかな?
断面SEMに限れば半導体工場では日立しか見たことないよ。
S-5000H派とS-4500派はいるけど。
サービスは、、半導体業界相手に商売してるってことで
それなりに信頼できる。
大学でも研究機関でも使えると思う。

7 :名も無きマテリアルさん:2001/05/24(木) 16:47
SEMはどっちかというと日立がいいんじゃないかな?

TEMなら間違いなくJEOL買うけどね。

8 :名も無きマテリアルさん:2001/05/24(木) 18:08
なんの分析に使うのか(形態?不純物?・・・・・)によって変るね。
SEMなら日立かな?(使ったこと無いけど)
変った所ではエリオニクスなんかどう?
デテクターを複数使ってるんで立体でも影が出ないよ。
あと成分分析するなら(本体よりも)使えるEDSとかWDSの性能が重要だよ。


9 :名無しさん@1周年:2001/05/29(火) 10:44
topcon = oem

10 :名も無きマテリアルさん:2001/06/01(金) 22:28
>>9
dokono???


11 :名無しさん:2001/06/18(月) 03:05
STEMってなんですか?

12 :名も無きマテリアルさん:2001/06/19(火) 02:00
Scaning Transmission Electron Microscope
基本的にはTEMです。
最近はビームが精度良く絞れるようになったので、
それを走査させて像を得る方法。
まぁ機種に依存するが、Åレベルまでビームを絞れると書いてあることもある。

EDXと組み合わせることにより、
分解能の高い元素マッピング像を得ることができます。

13 :名も無きマテリアルさん:2001/06/19(火) 13:17
>>12
> EDXと組み合わせることにより、
> 分解能の高い元素マッピング像を得ることができます。
FE-SEMの方が良くない?操作も楽だし

14 :名も無きマテリアルさん:2001/06/19(火) 21:21
SEMの場合、いくらビームを絞っても電子線が試料内部で散乱し、
広い領域(ミクロンオーダー)からX線が出てくるので、
空間分解能は低いです。

15 :名も無きマテリアルさん:2001/06/20(水) 00:19
だからFE-SEMだって。
普通薄膜試料で観察するよ>FE-SEM
それにSTEMでマッピングする位ならSAMかSIMS使うって。
でも、TEMは構造(電子線回折像)と組成(X線スペクトル)が
両方得られるのが魅力だね。
ってここはSEMのスレだったね

16 :名も無きマテリアルさん:2001/06/20(水) 00:34
うん。薄膜観察するならどっちでもいいね。
SIMSやSAM、Ω・Jレンズが組み込まれてるTEMよりも
EDXのついてるTEMの方が多いので、
EDXについて書いただけです。
それぞれ得手不得手があるけどね。

17 :糸ようじ:2001/06/29(金) 22:58
S−5000派でーす。
S−5700入れてくれないかなぁ。

18 :糸ようじ:2001/07/02(月) 22:52
S-5200使いてぇー!

19 :名も無きマテリアルさん:2001/07/07(土) 18:37
SEMは、SEMの機種以前に、サンプル作りできまるでしょー

20 :大和:2001/07/19(木) 17:52
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21 :名も無きマテリアルさん:2001/08/07(火) 12:51


22 :名も無きマテリアルさん:2001/08/11(土) 23:36

あれ、SEMのメーカーの名前に、エリオニクスが出てないですね.
http://home.elionix.co.jp/

あと、個人的な好みとしては、EDXは
EDAXかな。
ホームページは凝りすぎだけど.
http://www.edax.co.jp/flash/index.htm

23 :名も無きマテリアルさん:2001/08/13(月) 08:52
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24 :名も無きマテリアルさん:2001/08/14(火) 17:17
6>
もしかして東エレの人?
だめですよーSEM待ちで2chやっちゃーwww。
でも暗黙の了解でみんなSEMについているPCでゲームやってるよね。
SEMは日立。TEMは日本電子。現在もこれは変わらず。他は価値無し。
機種選定でいろんなメーカーの使ったことあるから私の感想ですが。。。
でも日本○子はサービスはちょっとドライかな。。なんでも金とるし。
サービスでむかついた!ってのなんかあります?

25 :名も無きマテリアルさん:2001/08/15(水) 09:58
>>24
ドライどころか,トラブルがらみで営業に完全に
無視されたことあり。
泣いた。
日本フィリップ○が助けてくれた。
EDXがらみだった。

いまメンテに来てくれている人は非常にいい人なんですが。

26 :名も無きマテリアルさん:2001/08/15(水) 10:52
>>25
そりゃ大変だったね。
あそこは、メンテナンス契約結んで
メンテに来てる人と仲良くなってないと
対応悪いよね。
あとは技術の人と直接交渉するとかしないと
少なくともこっちの担当がメンテの人や技術の人と
対等くらいに話せるレベルじゃないといいかげんな時もあるみたい。
営業は買うとき以外は関係無いんでどう言う対応しているかよく知らないけどね

27 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 03:27
日○電子のSEMについてくるEDXはクソだよ。
スーパーミ○カップなんてオマケでついてくるが、感度全然ないし。
真空漏れとかして二次災害だしてるほどだしwww
EDXはノーランも結構いいでよ。
あと営業が適当こいてるのはどこのメーカーというより、その人それぞれ
みたい。うちにくる某メーカーの営業は前はよかったのだが、新しく来る
新人営業はかなりドキュソ!!口からでまかせみたい。もうくんな!

28 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 09:10
>>26
学生なのにメンテナンス要員も兼ねてる俺。
来てもらうの有料だから技術に電話で聞いて俺がやる・・・。
俺でどうしようもなかったら技術に来てもらう体制。

でもTEMに関してはベストらしい。蛍光板がえらく明るいとか。
SEMも悪くないとは思う。

29 :名も無きマテリアルさん:2001/08/17(金) 07:27
レス少ないので上げwww

30 :30:2001/08/18(土) 22:33
元実験機器商社の営業マンです。
各メーカーの感じを書きましょう。

日本電子      国内最大でメンテなど無難。
日立        日本電子のライバル。入札相手
カールツァィス   知名度無し。物は良いが・・・。
トプコン      安い。
エリオニクス    検出器二本が売り。粗さ計の代わりに使用してるとこも。
ニコンインステック E−SEM。ガス中にて資料観察出きる。

FE−SEMはたしかに良いんですがメンテ代が・・・。
ちなみにEDXはエダックスをPRしてました。
周辺機器も後で書きます。

31 :25:2001/08/20(月) 12:31
>>30
日本フィリップスも入れてあげて。お願い。
大きなステージは日本フィリップスが1番だったと記憶していますが。

32 :30:2001/08/20(月) 17:14
>>31
もちろん知ってました。フィリップス
SEMとX線回折は強い代理店が有った為、
カタログを入手出来なかったんですよねー。
主に研究機関(大学等)にファン多し。
ステージの評判(自由度)が良かったみたいです。
カタログ見たかった。

33 :名も無きマテリアルさん:01/09/13 22:13
日本電子、前はまともだったんだけど
最近のメンテ要員は全然ダメ。
来てもまともに直せなかったり居眠りしてたり。

最近分析機器もデジタル化されててかえって使いづらいね。
つまみがいっぱいあって融通きくアナログSEMの方が使い勝手いいよ。
デジダルSEMは後輩に任せて日本電子のT-330を主で使ってます。

34 :名も無きマテリアルさん:01/09/18 23:52
日本電子は日立と互角でやっている。
色んなものを作っている日立、研究所では
なにかしてるかもしれないけれど、消費者
に見えない。あの新聞発表は無駄なのでは


35 :名も無きマテリアルさん:01/09/21 11:15
>>33
うちもT-330使ってますが,さすがに寿命。
回路周りの調子が悪いので,そろそろ退役です。

去年,デジタル系のSEM整備したので,それに移行中です。

写真取るまでのパフォーマンスは確かに,アナログ
の方がいいのですが,そのあとのレポート書きとかを
考えるとデジタル系のSEMの方が便利に感じます。

また,内部の構造とかは アナログ系の方が判りやすいですね。

36 :33:01/09/21 11:21
>>35
330退役ですか、お疲れさまって言ってあげてください。
総合的に見ればデジタルSEMの方がいいんだろうけどね、データの加工とか楽だし。
でも私自身は分析したデータを依頼者に渡したらおしまいなので、
アナログの方が楽なんです。
取り込んだ画像をいちいち台紙に貼り付けてプリントアウトなんかさせられると帰って時間かかるし。

それに馴れていかないとこれからはやってけないんでしょうけどね。

37 :-:01/09/21 14:01
モロ、無修正画像サイト発見!

http://www.sex-jp.net/dh/01/
http://www.sex-jp.net/dh/02/
http://www.sex-jp.net/dh/03/
http://www.sex-jp.net/dh/04/

38 :名も無きマテリアルさん:01/09/23 14:54
S-5200最高〜萌え〜
俺一人に独占して使わせろや〜

39 :名も無きマテリアルさん:02/04/08 23:51



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