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膜厚測定装置について

1 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 00:43
新米の製膜職人から皆様に質問があります。金属膜の厚さを測定するツールはたくさんありますが、
Laser系を使ったものに関していろいろ情報いただけませんか?
Web上で調べてみたのですがたいした内容は見つけられませんでした。


2 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 01:18
今だ!2ゲットオォォォォ!!
 ̄ ̄ ̄ ̄ ̄∨ ̄ ̄ ̄       (´´
     ∧∧   )      (´⌒(´
  ⊂(゚Д゚⊂⌒`つ≡≡≡(´⌒;;;≡≡≡
        ̄ ̄  (´⌒(´⌒;;
      ズザーーーーーッ


3 :かおりん祭り ◆IidAAeuI :02/03/02 01:45
\(^▽^)/新スレおめでとうございま−す♪
     

4 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 01:59
微細形状測定で検索すればいっぱいでてくるような
ATM、STMとかで測定できるような、
トンネル電流を一定にするんじゃなくて、トンネル電流を測定する。
SEMでこれをやる人はたくさんいると思います。

5 :同業者?:02/03/02 02:39
>>1
金属膜ウエハの測定?
なら、2社あるよ。(特許の関係でこの2社しかだせないと思うよ。)
どっちも、億/1台します。
年間メンテナンス費は、どっちも年500万弱するよ。

6 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 03:02
Laser?
単色エリプソのことか?
分光エリプソの方がいいぞ。

7 :名も無きマテリアルさん:02/03/02 03:04
5の方へ
質問カキコした者です。
その2社はよく似たR社とP社のことですか?
機能、使い勝手とかもし詳しいこと知っていたら教えてもらえますか?
Laser系を使った金属膜の厚さを測定するツールは他にはないのでしょうか?
できれば、文献なども探したいです。



8 :ヘツツ?チB:02/03/02 04:54
Demoか営業よべばプレゼン資料くれますよ。そこに原理とか書いてありましたね。
とりあえず、P社しか使ったことはありません。すくなくてもP社は、今、暇そう。あんまり売れてないです。
測定時間は、Map49ptsで2?3分(1pts;2?3秒)ですね。
任意の座標にXYって感じで測定点を設けられるモードもあります。
測定1ptsが50nm×30nmくらい(確か)で、4端針よりかなり小さいので詳細な測定には、イイですね。
Edgeそくていなんて感動モノです。パターンの金属膜も測定できます。
これは、非接触ならではと思います。段差計ぽく使えますね。
レシピを組むのがなれるまで、少し厄介ですね。
表面の金属膜からSiまでの膜構造とかを入力しなきゃいけません。
パターン認識のレシピは、かーてんの測定が使えれば問題ないです。
あと、表面が荒れていたり、うねっていたりすると測定にならない場合が多いです。
最近の膜なら大丈夫になってきたみたいですよ。
R社の日本代理店は、T社(電話)です。

> Laser系を使った金属膜の厚さを測定するツールは他にはないのでしょうか?
> できれば、文献なども探したいです。
ごめんなさい。金属膜で非接触測定で知っているのは、その2社です。
文献は、さがしてません。勉強不足で申し訳ありません。
特許が、確かレザーの波のちがいで測定するというので取ってるんですよ。
表現がよくないですけど、縦波、横波の違いみたいなものですね。
なんでR社、P社しか売れないと思いますよ。

9 :すみません:02/03/02 04:58
文字化けしてしまいました。
・1ウエハ49pts2、3分
・1pts2、3秒
です。

10 :厚さ:02/03/03 00:31
SEMで割ってみて測定する。日立がお勧め。
測長SEMで傾けてみる。正確な数字は出てこないが推測はできる。
これなら、割らずにすむ。

11 :厚さ2:02/03/03 00:32
渦電流でみるってヤツもありますね。

12 :名も無きマテリアルさん:02/03/03 01:09
Boxer Crossも調べてみては?昨年のSEMICON JAPANで出てたよ。
確かH(もも?)社が代理店してるね。
詳しいことはわからんが、熱伝導率を計算するらしい?

13 :407:02/03/03 15:11
可視光つかった、屈折率系なんてイイのあります?


14 :たぶん:02/03/03 20:11
>>13
可視光つかった屈折率系だったら、
膜種の違いをみるのがやっとなのでは?

膜厚までは厳しいと思いますよ。

15 :しつもん:02/03/04 01:53
>>13
直前まで、どこのスレにいたんですか?
407って?

16 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 11:47
可視光を使った屈折率系と言ったら、
白色光をサンプルに当ててその反射光をスペクトルから膜厚を計算するやつがあるね。
計算にはサンプルに構成されるそれぞれの膜の屈折率が必要になるよ。


17 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 12:03
簡単にできるんなら、エリプソ。
あとX線反射率とかの方法がある。
1は非破壊でしたいってことか?

18 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 16:01
17の方へ
非破壊、非接触で測定できるものに関して探しています。
さらに数十umの領域(スポット)で測定できるものです。
X線反射率で測定する際は、(有効)測定領域はどれくらいになるのでしょうか?

19 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 17:03
X線反射率は入射角が非常に浅いので、広域(ミリのオーダー)を測定
することになります。だからミクロンサイズには向かないね。
 膜厚分布みたいのなら、膜を堆積する時、堆積しない領域を作って
デクタクとかで計るのが手っ取り早いし正確だよ。

20 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 19:10
19の方へ
ご意見ありがとうございます。
段差計で測る手法はうちでも昔からやっているようです。
デポする前のウエハに対してポリイミドテープ(カプトンテープ)を十字に貼ってそれかデポして
テープを剥ぐ方法とか、測定箇所をエッチングしてやる方法ですよね?
どちらも手数が掛かるのでもっと簡便に使える測定ツールをと考えています。

21 :名も無きマテリアルさん:02/03/04 19:43
Boxer Crossの膜厚測定器について何かご存知の方いらっしゃいませんか?


22 :たしか:02/03/07 01:16
>>16, 17
1さんは、厚めの金属膜測定を希望していると思いますので無理だと思いますよ。
フッティングが合うとは思えません。
酸化膜系なら問題なく測定できますが。
また、1さんは、将来かなり3元系以上の金属膜にも手を出さなければならない人だとおもいます。その辺も知りたいんじゃ無いんですかね。

>>20
それならやっぱり、R社かP社だと思いますよ。
50nm×30nmとか書いちゃいましたけど、間違いです。数十umの領域(スポット)um単位です。ちなみに、CRに置くんですか?300対応必須ですか?

23 :名も無きマテリアルさん:02/04/18 16:47
スレ違いかもしれませんが、質問です。
数十ナノ〜数百ナノ程度の膜厚測るには
やっぱり専門の装置が必要でしょうか。
お値段いくらくらいなのかなぁ・・・。

AFMでも測れんことはないんですが、
非常に面倒なんで・・・。

24 :名も無きマテリアルさん:02/04/19 01:12
>>23
そのくらいだと、専用の装置が必要ではないでしょうか?
R社の装置を使っている知人は、それくらいの膜厚は測定しているようです。
金額は、おおざっぱに5千万以上だとか、、、金額は自信ありません。
友人は使っているだけなので、、、

25 :23:02/04/19 11:16
>>24
さすがに5千万はキツイですね・・・。
あきらめるか。
情報ありがとうございました。


26 :某装置屋:02/04/19 13:48
P社はやめちゃうみたいな感じだよ。高い金出して買収した会社&技術なのにね。
PやRの光音響系の装置は薄い膜(<10nm)はNGみたい。エリプソは厚い膜がNG。
どちらも膜質の影響が大なのが難点。
XRRは絶対値が非破壊で出るけどスポットが大きいのと測定時間がかかるのが難点。
XRFはキャリブレーションが必要なのと測定時間とスポットサイズが難点。
上にあげたどれもこれも値段が高いのが難点。
じゃ、全部OKなのはどれかって?知ってる人いたら教えてね。僕が製品化して儲けるし。



27 :名無し人:02/04/20 01:35
>>26さんへ
知っていたら教えてください。

日本撤退って話じゃなくって?
世界規模での撤退なのですか?

28 :26:02/04/20 23:55
>>27
はっきり撤退と宣言するかどうかは別にして、開発は事実上止めているらしいとおもわれ



29 :27:02/04/21 20:46
>>28

海外の開発部門が止めてるってことですよね?

去年の下半期に装置のバージョンが上がったばっかりだから
開発が止まったように見えているだけじゃないんですか?

30 :26:02/04/22 00:05
まあそのうちわかるって


31 :名無し人:02/04/22 02:55
>>30
何者ですか?

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