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CMP(平坦化)装置について

1 :名も無きマテリアルさん:01/09/26 18:48
だれかCMP装置業界の人いたら教えてください。
たとえば開発の状況であるとか、シェアについてとか。
自分はCMPのプロセスに興味があるんですけど、実務経験がないと
どこも採ってくんないみたいで…。

2 : :01/09/30 21:14
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 |  ,:|          CCさくら板  http://saki.2ch.net/sakura/index.html
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3 :えーっと:01/10/04 23:26
1位 AMAT(60-70%) 2位荏原製作所 3位 IPEC その他(LamResearch、

東京精密、他)

AMATは従来回転定盤方式、IPECはOrbital方式、LamはLinear方式。

後の方ほど革新的と言われている。特に300mmウェハ等に有利。

CMPは遊離砥粒研磨(粉の入った研磨剤使用)だが、固定砥粒方式(サンド

ペーパみたいなので研磨)というのも注目されている。AMATが熱心。

これになると装置が大幅に変わる。

銅配線は来年あたりから普及するので、各社シェア争いが盛ん。

装置の性能よりもサービス体制の充実度などが選考のポイントになる。

4 :名も無きマテリアルさん:01/10/20 01:10
> 自分はCMPのプロセスに興味があるんですけど、
> 実務経験がないとどこも採ってくんないみたいで…。

そうでもないよ。

5 :名も無きマテリアルさん:01/10/21 20:50
LamResearch
台湾でシェア拡大中!!

6 :やくると:01/10/23 00:05
東京精密って、まだやってたんだ。

7 : ◆83hcduWk :02/01/02 01:09


8 :名も無きマテリアルさん:02/01/13 12:57
http://page.freett.com/yasudadake/kaonono.mpg
http://csx.jp/~yuki_nono/mpg/vtr_onegai.mpg

9 :名も無きマテリアルさん:02/01/13 13:11
http://page.freett.com/ee2001/hinamatsuri.mp3

10 :名も無きマテリアルさん:02/01/14 19:54
http://page.freett.com/mouwakaranyo/18.mpg

11 :名も無きマテリアルさん:02/01/14 19:56
http://big.freett.com/mouwakaranyo/18.mpg

12 :test:02/04/17 16:37
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2008.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2011.rez
http://www.geocities.co.jp/Stylish-Monotone/8549/ah2007.rez
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